style="width:10.32673in;height:3.1801in" /> 本文是学习GB-T 34085-2017 电子工业用气体 三氟甲烷. 而整理的学习笔记,分享出来希望更多人受益,如果存在侵权请及时联系我们
本标准规定了电子工业用三氟甲烷的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以二氟一氯甲烷、三氯甲烷和氟化氢为原料制备的三氟甲烷产品。它在电子工业等
离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体。
分子式：CHF₃。
相对分子质量：70.013(按2011年国际相对原子质量)。
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件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB 190 危险货物包装标志
GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则
GB/T 5099 钢质无缝气瓶
GB/T 5832.3 气体中微量水分的测定 第3部分：光腔衰荡光谱法
GB/T 7144 气瓶颜色标志
GB/T 14193 液化气体气瓶充装规定
GB 15258 化学品安全标签编写规定
GB/T 16804 气瓶警示标签
GB/T 26571 特种气体储存期规范
GB/T 28726 气体分析 氦离子化气相色谱法
TSG R0006 气瓶安全技术监察规程
危险化学品安全管理条例(2002版)
特种设备安全监察条例(2009版)
三氟甲烷的质量应符合表1的要求。
表 1 技术指标
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GB/T 34085—2017
表 1 (续)
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4.1.1
三氟甲烷产品除酸度外的其他指标应逐一检验并验收，酸度每批次检一瓶。当检验结果有任何
一项指标不符合本标准技术要求时，则判该产品不合格。
4.1.2 三氟甲烷采样安全应符合 GB/T 3723 中的相关规定。
4.2.1 总杂质含量按式(1)计算：
φ,=φ+φ2+φ3+φ4+φ,+中。 (1)
式中：
币 ， 总 杂 质 含 量 ( 体 积 分 数 ) , 1 0 -⁶ ;
φ — — 氧+氩的含量(体积分数),10-⁶ ;
中。 氮 气 的 含 量 ( 体 积 分 数 ) , 1 0 -⁶ ;
φ3 — 一氧化碳的含量(体积分数),10-⁶ ;
φ4——二氧化碳的含量(体积分数),10-⁶ ;
币s 其他碳氟化合物的含量(体积分数),10-⁶ ;
φ ——水含量(体积分数),10-6。
4.2.2 三氟甲烷纯度按式(2)计算：
φ=100- φ,×10-4 ………………………… (2)
式中：
φ——三氟甲烷纯度(体积分数),10-²。
4.3 氧+氩、氮、
一氧化碳、二氧化碳和其他氟碳化合物含量的测定
按 GB/T 28726 规定的切割进样的方法测定三氟甲烷中的氧+氩、氮、
一氧化碳、二氧化碳和其他
氟碳化合物含量。
预分离柱：长约2 m、 内 径 2 mm 的316L 不锈钢柱，内装粒径为0.18
mm～0.25 mm 的 Porapak Q
(高分子聚合物),或其他等效色谱柱。
GB/T 34085—2017
色谱柱 I: 长 约 2 m、 内 径 2 mm 的316L 不锈钢柱，内装粒径为0.18
mm～0.25 mm 的 5 A 分子
筛，或其他等效色谱柱，用于分析氧+氩、氮、 一氧化碳组分。
色谱柱Ⅱ:长约2 m、 内 径 2 mm 的316L 不锈钢柱，内装粒径为0.18 mm～0.25
mm 的 Porapak Q,
或其他等效色谱柱，用于分析二氧化碳、其他氟碳化合物组分。
标准样品：组分含量的体积分数为1×10-⁶ ~5×10-⁶
,或与样品其中的组分含量相近，平衡气
为氦。
允许采用其他等效的方法测定三氟甲烷中的氧+氩、氮、
一氧化碳、二氧化碳和其他氟碳化合物含
量。当以上测定结果有异议时，以本标准规定的方法为仲裁方法。
按 GB/T
5832.3规定的方法或其他等效的方法测定三氟甲烷的水含量。当以上测定结果有异议
时，以 GB/T 5832.3规定的方法为仲裁方法。
试样中的酸和酸性物质与过量的氢氧化钠标准溶液发生中和反应，以甲基红-溴甲酚绿为指示剂，
用硫酸标准溶液滴定过量的碱，从而测定出试样的酸度。
4.5.2.1 氢氧化钠标准溶液：c(NaOH由0.1 mol/L 标准溶液稀释制取。
4.5.2.2 硫酸标准滴定溶液：c(1/2 H₂SO₄
由0.1 mol/L 标准溶液稀释制取。
4.5.2.3
混合指示剂：甲基红乙醇溶液与溴甲酚绿乙醇溶液按1:3体积比混合。
4.5.3.1 微量滴定管：5 mL, 分度值为0.02 mL,
或0.01mL。
4.5.3.2 多孔气体分布管：孔度为2号。
4.5.3.3 湿式气体流量计：量程为2 L。
酸度测定的吸收装置如图1所示。缓冲瓶、吸收瓶均为300 mL
锥形瓶，吸收瓶内各装入100 mL 新煮沸过的蒸馏水和4.00 mL
氢氧化钠标准溶液。气体分布器管口距瓶底8 mm, 试样气体流速 500
mL/min,通气量约15 L,
由湿式气体流量计计量。通气完毕，从系统中取下吸收瓶，分别加入4~
5滴混合指示剂，用硫酸标准溶液滴定，溶液由蓝绿色变为红色为终点。
GB/T 34085—2017
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说明：
图 1 酸度吸收装置
试样体积按式(3)计算：
style="width:5.86664in;height:1.34002in" /> ( 3)
式 中 ：
V — 20℃,101.3kPa 的试样体积的数值，单位为升(L);
P₁— 流量计始态的大气压力的数值，单位为千帕(kPa);
P₂— 流量计终态的大气压力的数值，单位为千帕(kPa);
t 流量计始态的温度的数值，单位为摄氏度(℃);
t2— 流量计终态的温度的数值，单位为摄氏度(℃);
V₂— 流量计终态的读数值，单位为升(L);
V₁—— 流量计始态的读数值，单位为升(L)。
酸度(以 HF 计)的质量分数 w, 数值以10-⁶表示，按式(4)计算：
style="width:6.07999in;height:0.65318in" /> (4)
式 中 ：
V 。 — 空白试验消耗硫酸标准滴定溶液的体积，单位为毫升(mL);
V₁ ——
滴定第一个吸收瓶溶液消耗的硫酸标准滴定溶液的体积，单位为毫升(mL);
V₂— 滴定第二个吸收瓶溶液消耗的硫酸标准滴定溶液的体积，单位为毫升(mL);
20 - 氢 氟 酸(HF) 的摩尔质量，单位为克每摩尔(g/mol);
C 硫酸(1/2H₂SO₄) 标准滴定溶液的浓度，单位为摩尔每升(mol/L);
2.99— 20℃,101.3 kPa 时三氟甲烷的密度，单位为克每升(g/L);
V 20℃,101.3 kPa 时试样体积，单位为升(L)。
GB/T 34085—2017
取平行测定结果的算术平均值为测定结果。两次平行测定结果的相对偏差应不大于40%。
允许采用其他等效的方法测定三氟甲烷中的酸度含量。当以上测定结果有异议时，以本标准规定
的方法为仲裁方法。
5.1.1 三氟甲烷的充装及贮运应符合 TSG
R0006、《危险化学品安全管理条例》(2002版)和《特种设备
安全监察条例》(2009版)的相关规定。
5.1.2 包装三氟甲烷的气瓶应符合GB/T 5099 的规定。
5.1.3
推荐使用进行内表面处理的气瓶，处理后的气瓶应满足本标准的要求。瓶阀出气口连接方式推
荐使用CGA320。
5.1.4 应防止瓶口被污染和泄漏。
5.1.5 三氟甲烷的充装应符合GB/T 14193 的相关规定。
5.1.6 三氟甲烷的包装标志应符合GB190 的相关规定，颜色标志应符合GB/T7144
的规定，标签应符 合 GB/T 16804、GB 15258 规定的要求。
5.1.7 包装容器上应标明“电子级三氟甲烷”字样。
5.1.8 瓶装三氟甲烷的最大充装量按式(5)计算：
m=F, ·V ………………………… (5)
式中：
m ——气瓶内三氟甲烷的质量，单位为千克(kg);
F,— 三氟甲烷的充装系数(F,=0.76), 单位为千克每升(kg/L);
V — 气瓶标明的内容积，单位为升(L)。
5.1.9 三氟甲烷的充装量按实际称量的质量计。
5.1.10 三氟甲烷的保存期限按 GB/T 26571规定执行。
5.1.11 三氟甲烷出厂时应附有质量合格证，其内容至少应包括：
——产品名称、生产厂名称、危险化学品生产许可证编号；
——生产日期或批号、充装质量(kg);
——本标准编号及技术指标、检验员号。
5.1.12
三氟甲烷产品应存放在阴凉、干燥、通风的库房内，严禁暴晒，远离热源。
5.2.1
三氟甲烷在常温常压下为具有窒息性、无色无味气体，空气中不燃烧。接触后可引起头痛、恶心
和呕吐，有麻醉作用。
5.2.2
三氟甲烷与高温表面或火焰接触时，分解生成腐蚀性和毒性都极高的氟化氢烟雾。
5.2.3
接触三氟甲烷气体可能引起心律失常和窒息。吸入蒸气可能引起中枢神经系统抑郁。液态时
溅到皮肤上能引起冷灼伤。
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